真空爐品種多，對真空系統的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。

1．低真空系統    

   低真空系統適用于真空度在2～1333Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。

2．中真空系統 

   中真空系統適用于真空度在3 X10～～1．333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常由兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵 

3．高真空系統 

   高真空系統適用于真空度在6．6×10～～1．333 X 10。Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵。