真空爐是于二十世紀四十年代發展起來的重要的工業加熱設備，廣泛應用于鈦、鋯、鎢、鉬、鈮等活性金屬、難熔金屬及其合金、鋁箔、電工純鐵、軟磁合金、銅管帶等金屬材料的無氧化光亮退火；高速工具鋼、模具鋼的光亮淬火；不銹鋼、鈦、鋁、銅、硬質合金、高溫合金、陶瓷等同種材料或異種材料之間的無釬劑真空釬焊；硬質合金、稀土永磁材料釹鐵硼等粉末冶金材料的真空燒結；電子管、真空開關、不銹鋼保溫容器的真空排氣與封接等等。在航空、航天、船舶、車輛、機械、電子、石化、工具、材料、家電等行業正日益發揮越來越大的作用。
　　編制真空爐使用維護操作規程，建立此爐運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時間，加強此爐日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，及早發現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的維修，并根據此爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備此爐修理用零部件，編制此爐運行維護方案。如此爐加熱元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內產品介質、產品數量及操作情況等許多因素有關，在每天24小時加工生產的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次．這取決于釬焊工作的類型和使用次數。此爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的此爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。

　　在真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查此爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。